​ CNC精密零配件加工的特點

     超精密零配件加工方法的特點是對外表（biǎo）層物質去除或添（tiān）加的量能（néng）夠作極細微（wēi）的控製。但是要獲得cnc超精密零件加工精度（dù），仍有賴於精密的加工設備和準確的克製係統（tǒng），並采用超精密掩膜作（zuò）中介物。例如超大規模集成電路的製版即使采用電子束對（duì）掩（yǎn）膜上的光致抗蝕劑（jì）（見光（guāng）刻）舉行曝射，使光致抗蝕劑的原子（zǐ）在電子撞擊下直接聚合(或分解)，再（zài）用顯影劑把聚合過的或未（wèi）聚合過的部分（fèn）溶解掉，製成掩膜。電子束曝射製版必要采用工作台定位（wèi）精度高（gāo）達±0.01微米的超精密加工設備。

    超精密零配件加工，主要（yào）有超精密車削、鏡麵磨削和研磨等（děng）。在超精密車床上用通過精細研磨的單晶金剛石車刀舉（jǔ）行微量車削,切削厚度僅1微（wēi）米（mǐ）左右，常（cháng）用（yòng）於加工有色金屬材料的球麵、非球麵和平麵的反射鏡等高精度、外表高度（dù）光潔的零件。例如加工核聚變裝置用的直徑為800毫米的非球麵反射鏡，高精度可達0.1微米（mǐ），外表粗糙度為Rz0.05微米。

     超（chāo）精密零配件加工精度以納米，甚至後（hòu）以原子單位(原子晶格距（jù）離為0.1～0.2納米)為目標時，超精密零（líng）件切削加（jiā）工方法已不能適應，必要借助特種精密（mì）零配件加工的方法，即應（yīng）用（yòng）化學能、電化學能（néng）、熱能或電能等，使這些能（néng）量超越原子（zǐ）間的聯合能，從（cóng）而去除工（gōng）件外表的部分原（yuán）子間的附著、聯合或晶格變形（xíng），以達到超精密加工的目的。屬（shǔ）於這類加工的有機械（xiè）化學拋光、離子濺射和離子（zǐ）注入、電（diàn）子束曝射、激光束加工、金屬（shǔ）蒸鍍和（hé）分子束外延等。